在泄漏檢測之前準備高效過濾器PAO　　拆下高效過濾器的擴散板，清潔外殼和框架的外表面，防止灰塵干擾檢測。關閉潔凈室(區域)內的火災報警裝置，以免在測試過程中因煙霧泄漏而產生誤解。

　　確定上游濃度驗證孔。準備惰性氣體源(通常使用氮氣或壓縮空氣)。引入氣溶膠煙霧向4B氣溶膠發生器中加入適量的PAO液，連接氣源，找到風機的吸入口，通過吸入口將氣溶膠直接送入高效過濾器的上游;打開發電機開關打開氣源，將空氣供應壓力調節到20 psig到30 psig，以調節氣溶膠煙霧輸出。

　　確認光度計選擇閥處于CLEAR位置。將電源開關設置為1(開)位置，然后按ENTER鍵設置零參考線。采樣管通過驗證孔，一端連接到上游(高效過濾器入口側)采樣口，另一端連接到氣溶膠光度計。將光度計選擇閥設置到UPSTREAM位置以確定上游氣溶膠濃度。調整氣溶膠發生器輸出閥的開度，直到確認上游濃度達到20-80μg/L并保持相對穩定。按100按鈕，然后按ENTER按鈕設置100%參考。成功設置100%基線后，指示燈將閃爍，表示必須校準0%基線。將選擇閥設置為CLEAR，然后按ENTER。 0%基線得到糾正。

　　選擇要轉動的閥門，將矩形取樣頭連接到光度計，掃描待檢過濾器的整個部分，密封頭和安裝框架。掃描速率=15÷垂直掃描方向掃描探頭尺寸。

　　掃描速度約為2cm/s，掃描以直線來回進行，掃描覆蓋范圍略微重疊。采樣探頭距離過濾器出口表面和框架結構約3cm。掃描應在過濾器的整個出口表面，過濾器的周邊，過濾器框架和安裝結構之間的密封以及安裝接口上進行。當任何指示等于或大于指定的限制時，掃描探針應保持在相應的位置相當長的一段時間，并且判斷是在該位置長時間顯示的大值。

　　在原始記錄上繪制示意圖，指示泄漏的位置和大泄漏值。

　　注意：掃描過程中應避免灰塵干擾機殼，采樣頭不應接觸高效風口或過濾器的框架。在掃描的中間和結束時，檢查上游氣溶膠濃度以確定其穩定性。當上游氣溶膠濃度變化超過±15%時，100%參考值被重置并追溯。注1：泄漏檢測測試完成后，驗證孔將及時正確密封。